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型式 |
TC-280/卓上 |
TC-420/卓上 |
SC-450D/据付式 |
SC-800/据付式 |
外形寸法 |
360×450×400mm |
525×540×430mm |
640×630×810mm |
900×665×820mm |
有効シール巾 |
300mm×1 |
450mm×1 |
450mm×2 |
800mm×2 |
チャンバー内寸法 |
360×450×95mm |
470×450×105mm |
480×430×240mm |
820×560×180mm |
架台(オプション) |
400×500×500mm |
550×600×500mm |
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電源 |
単相100v |
単相100v |
三相200v |
三相200v |
真空ポンプ |
750w |
750w |
750w |
750w |
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